⒈ ULVAC機工生產(chǎn)的系列干式膜片型真空泵，是通過橡膠膜片的往返運動達到真空。 ⒉ 膜片型干式真空泵不同于油旋片式真空泵，無需油霧過濾，能保持環(huán)境清潔，保養(yǎng)方便。
日本ULVAC DA-20D/60D/DA-40S/DA-120S/121D/241S膜片型干式真空泵 ⒈ ULVAC機工生產(chǎn)的系列干式膜片型真空泵，是通過橡膠膜片的往返運動達到真空。 ⒉ 膜片型干式真空泵不同于油旋片式真空泵，無需油霧過濾，能保持環(huán)境清潔，保養(yǎng)方便。
日本ULVAC DA-30D/60S/DAT-50D/100S/DAU-100H膜片型干式真空泵 ULVAC機工生產(chǎn)的系列干式膜片型真空泵，是通過橡膠膜片的往返運動達到真空。 膜片型干式真空泵不同于G系列直聯(lián)型油旋片式真空泵，無需油霧過濾，能保持環(huán)境清潔， 保養(yǎng)方便。
日本ULVAC DTC-21K/41K/DTC-60/DTC-120膜片型干式特氟龍真空泵 ◇各個接觸排氣氣體的部件都有PTEE制成 ◇適用于腐蝕性氣體或有機溶液 ◇真空度高，能抽至1000Pa
